ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લુરાઇડ (ડબલ્યુએફ 6) નો ઉપયોગ

ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લુરાઇડ (ડબ્લ્યુએફ 6) સીવીડી પ્રક્રિયા દ્વારા વેફરની સપાટી પર જમા થાય છે, ધાતુના ઇન્ટરકનેક્શન ખાઈને ભરીને, અને સ્તરો વચ્ચે મેટલ ઇન્ટરકનેક્શન બનાવે છે.

ચાલો પહેલા પ્લાઝ્મા વિશે વાત કરીએ. પ્લાઝ્મા એ મુખ્યત્વે મફત ઇલેક્ટ્રોન અને ચાર્જ આયનોથી બનેલા પદાર્થનું એક પ્રકાર છે. તે બ્રહ્માંડમાં વ્યાપકપણે અસ્તિત્વમાં છે અને ઘણીવાર તે પદાર્થની ચોથી સ્થિતિ તરીકે ગણવામાં આવે છે. તેને પ્લાઝ્મા સ્ટેટ કહેવામાં આવે છે, જેને "પ્લાઝ્મા" પણ કહેવામાં આવે છે. પ્લાઝ્મામાં ઉચ્ચ વિદ્યુત વાહકતા હોય છે અને ઇલેક્ટ્રોમેગ્નેટિક ક્ષેત્ર સાથે મજબૂત જોડાણ અસર હોય છે. તે એક આંશિક આયનાઇઝ્ડ ગેસ છે, જે ઇલેક્ટ્રોન, આયનો, મફત રેડિકલ્સ, તટસ્થ કણો અને ફોટોનથી બનેલું છે. પ્લાઝ્મા પોતે જ ઇલેક્ટ્રિકલી તટસ્થ મિશ્રણ છે જેમાં શારીરિક અને રાસાયણિક સક્રિય કણો હોય છે.

સીધો સમજૂતી એ છે કે ઉચ્ચ energy ર્જાની ક્રિયા હેઠળ, પરમાણુ વેન ડર વાલ્સ ફોર્સ, રાસાયણિક બોન્ડ ફોર્સ અને કુલોમ્બ ફોર્સને દૂર કરશે અને સંપૂર્ણ રીતે તટસ્થ વીજળીનું એક સ્વરૂપ પ્રસ્તુત કરશે. તે જ સમયે, બહાર દ્વારા આપવામાં આવતી ઉચ્ચ energy ર્જા ઉપરોક્ત ત્રણ દળોને દૂર કરે છે. ફંક્શન, ઇલેક્ટ્રોન અને આયનો એક મુક્ત રાજ્ય પ્રસ્તુત કરે છે, જેનો ચુંબકીય ક્ષેત્રના મોડ્યુલેશન હેઠળ કૃત્રિમ રીતે ઉપયોગ કરી શકાય છે, જેમ કે સેમિકન્ડક્ટર એચિંગ પ્રક્રિયા, સીવીડી પ્રક્રિયા, પીવીડી અને આઇએમપી પ્રક્રિયા.

ઉચ્ચ energy ર્જા શું છે? સિદ્ધાંતમાં, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ આવર્તન આરએફ બંનેનો ઉપયોગ કરી શકાય છે. સામાન્ય રીતે કહીએ તો, ઉચ્ચ તાપમાન પ્રાપ્ત કરવું લગભગ અશક્ય છે. આ તાપમાનની આવશ્યકતા ખૂબ વધારે છે અને સૂર્યના તાપમાનની નજીક હોઈ શકે છે. પ્રક્રિયામાં મૂળભૂત રીતે તે પ્રાપ્ત કરવું અશક્ય છે. તેથી, ઉદ્યોગ સામાન્ય રીતે તેને પ્રાપ્ત કરવા માટે ઉચ્ચ-આવર્તન આરએફનો ઉપયોગ કરે છે. પ્લાઝ્મા આરએફ 13 મેગાહર્ટઝ+જેટલા સુધી પહોંચી શકે છે.

ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લુરાઇડ ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ક્રિયા હેઠળ પ્લાઝ્માઇઝ કરવામાં આવે છે, અને પછી ચુંબકીય ક્ષેત્ર દ્વારા બાષ્પથી ભરેલું છે. ડબલ્યુ અણુ શિયાળાના હંસ પીંછા જેવું જ છે અને ગુરુત્વાકર્ષણની ક્રિયા હેઠળ જમીન પર પડે છે. ધીરે ધીરે, ડબલ્યુ અણુઓ છિદ્રો દ્વારા જમા થાય છે, અને અંતે મેટલ ઇન્ટરકનેક્શન્સ રચવા માટે છિદ્રો દ્વારા ભરેલા હોય છે. છિદ્રો દ્વારા ડબલ્યુ અણુઓ જમા કરવા ઉપરાંત, શું તેઓ વેફરની સપાટી પર પણ જમા થશે? હા, ચોક્કસપણે. સામાન્ય રીતે કહીએ તો, તમે ડબલ્યુ-સીએમપી પ્રક્રિયાનો ઉપયોગ કરી શકો છો, જેને આપણે દૂર કરવા માટે યાંત્રિક ગ્રાઇન્ડીંગ પ્રક્રિયા કહીએ છીએ. ભારે બરફ પછી ફ્લોર સાફ કરવા માટે તે સાવરણીનો ઉપયોગ કરવા જેવું જ છે. જમીન પર બરફ દૂર થઈ ગયો છે, પરંતુ જમીન પરના છિદ્રમાં બરફ રહેશે. નીચે, આશરે સમાન.