સામાન્ય ફ્લોરિન ધરાવતા ખાસ ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓમાં શામેલ છેસલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ (SF6), ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લોરાઇડ (WF6),કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ (CF4), ટ્રાઇફ્લોરોમેથેન (CHF3), નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (NF3), હેક્સાફ્લોરોઇથેન (C2F6) અને ઓક્ટાફ્લોરોપ્રોપેન (C3F8).
નેનો ટેકનોલોજીના વિકાસ અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગના મોટા પાયે વિકાસ સાથે, તેની માંગ દિવસેને દિવસે વધશે. નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ, પેનલ્સ અને સેમિકન્ડક્ટર્સના ઉત્પાદન અને પ્રક્રિયામાં અનિવાર્ય અને સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતા ખાસ ઇલેક્ટ્રોનિક ગેસ તરીકે, તેનું બજાર ક્ષેત્ર વ્યાપક છે.
ફ્લોરિન ધરાવતા ખાસ ગેસના પ્રકાર તરીકે,નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (NF3)સૌથી મોટી બજાર ક્ષમતા ધરાવતું ઇલેક્ટ્રોનિક સ્પેશિયલ ગેસ ઉત્પાદન છે. તે ઓરડાના તાપમાને રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય છે, ઊંચા તાપમાને ઓક્સિજન કરતાં વધુ સક્રિય છે, ફ્લોરિન કરતાં વધુ સ્થિર છે અને હેન્ડલ કરવામાં સરળ છે. નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ અને રિએક્શન ચેમ્બર ક્લિનિંગ એજન્ટ તરીકે થાય છે, અને તે સેમિકન્ડક્ટર ચિપ્સ, ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે, ઓપ્ટિકલ ફાઇબર્સ, ફોટોવોલ્ટેઇક કોષો વગેરેના ઉત્પાદન ક્ષેત્રો માટે યોગ્ય છે.
અન્ય ફ્લોરિન ધરાવતા ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓની તુલનામાં,નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડઝડપી પ્રતિક્રિયા અને ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતાના ફાયદા છે. ખાસ કરીને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ જેવી સિલિકોન ધરાવતી સામગ્રીના એચિંગમાં, તે ઉચ્ચ એચિંગ દર અને પસંદગીયુક્તતા ધરાવે છે, જે કોતરણી કરેલ વસ્તુની સપાટી પર કોઈ અવશેષ છોડતું નથી. તે ખૂબ જ સારું સફાઈ એજન્ટ પણ છે અને સપાટી પર કોઈ પ્રદૂષણ નથી કરતું, જે પ્રક્રિયા પ્રક્રિયાની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે.
પોસ્ટ સમય: સપ્ટેમ્બર-૧૪-૨૦૨૪
