સૌથી વધુ વપરાયેલ ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષ ગેસ - નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ

સામાન્ય ફ્લોરિન ધરાવતા વિશેષ ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓમાં શામેલ છેસલ્ફર હેક્સાફ્લુરાઇડ (એસએફ 6), ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લુરાઇડ (ડબલ્યુએફ 6),કાર્બન ટેટ્રાફ્લુરાઇડ (સીએફ 4).

નેનો ટેકનોલોજીના વિકાસ અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગના મોટા પાયે વિકાસ સાથે, તેની માંગ દિવસેને દિવસે વધશે. પેનલ્સ અને સેમિકન્ડક્ટર્સના ઉત્પાદન અને પ્રક્રિયામાં અનિવાર્ય અને સૌથી મોટા-ઉપયોગમાં લેવાતા વિશેષ ઇલેક્ટ્રોનિક ગેસ તરીકે નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ, બજારની બ્રોડ સ્પેસ ધરાવે છે.

ફ્લોરિન ધરાવતા વિશેષ ગેસના પ્રકાર તરીકે,નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (એનએફ 3)સૌથી મોટી બજાર ક્ષમતાવાળા ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષ ગેસ ઉત્પાદન છે. તે ઓરડાના તાપમાને રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય છે, temperature ંચા તાપમાને ઓક્સિજન કરતા વધુ સક્રિય છે, ફ્લોરિન કરતા વધુ સ્થિર છે, અને હેન્ડલ કરવામાં સરળ છે. નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ અને રિએક્શન ચેમ્બર ક્લિનિંગ એજન્ટ તરીકે થાય છે, અને સેમિકન્ડક્ટર ચિપ્સ, ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે, opt પ્ટિકલ રેસા, ફોટોવોલ્ટેઇક સેલ્સ, વગેરેના ઉત્પાદન ક્ષેત્રો માટે યોગ્ય છે.

અન્ય ફ્લોરિન ધરાવતા ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓ સાથે સરખામણી કરો,નાઈટ્રોજનનું પ્રમાણઝડપી પ્રતિક્રિયા અને ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતાના ફાયદા છે. ખાસ કરીને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ જેવી સિલિકોન ધરાવતી સામગ્રીના એચિંગમાં, તેમાં high ંચી એચિંગ રેટ અને પસંદગીની પસંદગી છે, જે એચેડ object બ્જેક્ટની સપાટી પર કોઈ અવશેષ છોડતી નથી. તે ખૂબ જ સારી સફાઇ એજન્ટ પણ છે અને સપાટી પર કોઈ પ્રદૂષણ નથી, જે પ્રક્રિયા પ્રક્રિયાની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે.