આપણા દેશનો સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ અને પેનલ ઉદ્યોગ ઉચ્ચ સ્તરની સમૃદ્ધિ જાળવી રાખે છે. પેનલ્સ અને સેમિકન્ડક્ટર્સના ઉત્પાદન અને પ્રક્રિયામાં અનિવાર્ય અને સૌથી મોટા-વોલ્યુમ વિશેષ ઇલેક્ટ્રોનિક ગેસ તરીકે નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ, માર્કેટ સ્પેસ ધરાવે છે.
સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા ફ્લોરિન ધરાવતા વિશેષ ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓમાં શામેલ છેસલ્ફર હેક્સાફ્લુરાઇડ (એસએફ 6), ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લુરાઇડ (ડબલ્યુએફ 6),કાર્બન ટેટ્રાફ્લુરાઇડ (સીએફ 4). નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (એનએફ 3) મુખ્યત્વે હાઇડ્રોજન ફ્લોરાઇડ-ફ્લોરાઇડ ગેસ ઉચ્ચ- energy ર્જા રાસાયણિક લેસરો માટે ફ્લોરિન સ્રોત તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે. એચ 2-ઓ 2 અને એફ 2 વચ્ચેની પ્રતિક્રિયા energy ર્જાનો અસરકારક ભાગ (લગભગ 25%) લેસર રેડિયેશન દ્વારા પ્રકાશિત કરી શકાય છે, તેથી રાસાયણિક લેસરોમાં એચએફ-ઓફ લેસરો સૌથી વધુ આશાસ્પદ લેસરો છે.
માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગમાં નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ એક ઉત્તમ પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ છે. સિલિકોન અને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડને ઇચિંગ કરવા માટે, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડમાં કાર્બન ટેટ્રાફ્લુરાઇડ કરતા વધુ એચિંગ રેટ અને પસંદગીની પસંદગી છે અને કાર્બન ટેટ્રાફ્લુરાઇડ અને ઓક્સિજનનું મિશ્રણ છે, અને સપાટી પર કોઈ પ્રદૂષણ નથી. ખાસ કરીને 1.5um કરતા ઓછી જાડાઈવાળા ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ સામગ્રીના એચિંગમાં, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડનો ખૂબ ઉત્તમ એચિંગ રેટ અને પસંદગીની હોય છે, જે એડેડ object બ્જેક્ટની સપાટી પર કોઈ અવશેષ છોડતી નથી, અને તે ખૂબ જ સારી સફાઇ એજન્ટ પણ છે. નેનો ટેકનોલોજીના વિકાસ અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગના મોટા પાયે વિકાસ સાથે, તેની માંગ દિવસેને દિવસે વધશે.
ફ્લોરિન ધરાવતા વિશેષ ગેસના એક પ્રકાર તરીકે, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (એનએફ 3) એ બજારમાં સૌથી મોટું ઇલેક્ટ્રોનિક વિશેષ ગેસ ઉત્પાદન છે. તે ઓરડાના તાપમાને રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય છે, ઓક્સિજન કરતા વધુ સક્રિય, ફ્લોરિન કરતા વધુ સ્થિર અને temperature ંચા તાપમાને હેન્ડલ કરવા માટે સરળ છે.
નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ અને રિએક્શન ચેમ્બર ક્લિનિંગ એજન્ટ તરીકે થાય છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ચિપ્સ, ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે, opt પ્ટિકલ રેસા, ફોટોવોલ્ટેઇક સેલ્સ, વગેરે જેવા ઉત્પાદન ક્ષેત્રો માટે યોગ્ય છે.
અન્ય ફ્લોરિન ધરાવતા ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓની તુલનામાં, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડમાં ઝડપી પ્રતિક્રિયા અને ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતાના ફાયદા છે, ખાસ કરીને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ જેવી સિલિકોન-ધરાવતા સામગ્રીના એચિંગમાં, તે એક ઉચ્ચ વર્ગ અને પસંદગીની સપાટી પર કોઈ અવશેષો અને તે ખૂબ જ સારી રીતે પ્રક્રિયા કરી શકે છે અને તે ખૂબ જ સારી રીતે જરૂરી છે.
પોસ્ટ સમય: ડિસેમ્બર -26-2024
