ઇલેક્ટ્રોનિક સ્પેશિયલ ગેસનો સૌથી મોટો જથ્થો - નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ NF3

આપણા દેશનો સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગ અને પેનલ ઉદ્યોગ ઉચ્ચ સ્તરની સમૃદ્ધિ જાળવી રાખે છે. નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ, પેનલ્સ અને સેમિકન્ડક્ટર્સના ઉત્પાદન અને પ્રક્રિયામાં એક અનિવાર્ય અને સૌથી મોટા વોલ્યુમના ખાસ ઇલેક્ટ્રોનિક ગેસ તરીકે, એક વ્યાપક બજાર સ્થાન ધરાવે છે.

સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતા ફ્લોરિન ધરાવતા ખાસ ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓમાં શામેલ છેસલ્ફર હેક્સાફ્લોરાઇડ (SF6), ટંગસ્ટન હેક્સાફ્લોરાઇડ (WF6),કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ (CF4), ટ્રાઇફ્લોરોમેથેન (CHF3), નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (NF3), હેક્સાફ્લોરોઇથેન (C2F6) અને ઓક્ટાફ્લોરોપ્રોપેન (C3F8). નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (NF3) મુખ્યત્વે હાઇડ્રોજન ફ્લોરાઇડ-ફ્લોરાઇડ ગેસ હાઇ-એનર્જી કેમિકલ લેસરો માટે ફ્લોરિન સ્ત્રોત તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે. H2-O2 અને F2 વચ્ચે પ્રતિક્રિયા ઊર્જાનો અસરકારક ભાગ (લગભગ 25%) લેસર રેડિયેશન દ્વારા મુક્ત થઈ શકે છે, તેથી રાસાયણિક લેસરોમાં HF-OF લેસરો સૌથી આશાસ્પદ લેસરો છે.

નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ એ માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગમાં એક ઉત્તમ પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ છે. સિલિકોન અને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડને એચિંગ કરવા માટે, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ અને કાર્બન ટેટ્રાફ્લોરાઇડ અને ઓક્સિજનના મિશ્રણ કરતાં વધુ એચિંગ રેટ અને પસંદગી ધરાવે છે, અને સપાટી પર કોઈ પ્રદૂષણ કરતું નથી. ખાસ કરીને 1.5um કરતા ઓછી જાડાઈવાળા ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ મટિરિયલ્સના એચિંગમાં, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ ખૂબ જ ઉત્તમ એચિંગ રેટ અને પસંદગી ધરાવે છે, જે એચ્ડ ઑબ્જેક્ટની સપાટી પર કોઈ અવશેષ છોડતું નથી, અને તે ખૂબ જ સારું સફાઈ એજન્ટ પણ છે. નેનોટેકનોલોજીના વિકાસ અને ઇલેક્ટ્રોનિક્સ ઉદ્યોગના મોટા પાયે વિકાસ સાથે, તેની માંગ દિવસેને દિવસે વધશે.

ફ્લોરિન ધરાવતા ખાસ ગેસના પ્રકાર તરીકે, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડ (NF3) બજારમાં સૌથી મોટું ઇલેક્ટ્રોનિક ખાસ ગેસ ઉત્પાદન છે. તે ઓરડાના તાપમાને રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય, ઓક્સિજન કરતાં વધુ સક્રિય, ફ્લોરિન કરતાં વધુ સ્થિર અને ઊંચા તાપમાને નિયંત્રિત કરવામાં સરળ છે.

નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે પ્લાઝ્મા એચિંગ ગેસ અને રિએક્શન ચેમ્બર ક્લિનિંગ એજન્ટ તરીકે થાય છે, જે સેમિકન્ડક્ટર ચિપ્સ, ફ્લેટ પેનલ ડિસ્પ્લે, ઓપ્ટિકલ ફાઇબર્સ, ફોટોવોલ્ટેઇક કોષો વગેરે જેવા ઉત્પાદન ક્ષેત્રો માટે યોગ્ય છે.

અન્ય ફ્લોરિન ધરાવતા ઇલેક્ટ્રોનિક વાયુઓની તુલનામાં, નાઇટ્રોજન ટ્રાઇફ્લોરાઇડમાં ઝડપી પ્રતિક્રિયા અને ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતાના ફાયદા છે, ખાસ કરીને સિલિકોન નાઇટ્રાઇડ જેવા સિલિકોન ધરાવતા પદાર્થોના એચિંગમાં, તે ઉચ્ચ એચિંગ દર અને પસંદગીયુક્તતા ધરાવે છે, જે કોતરણી કરેલ પદાર્થની સપાટી પર કોઈ અવશેષ છોડતું નથી, અને તે ખૂબ જ સારું સફાઈ એજન્ટ પણ છે, અને તે સપાટીને પ્રદૂષિત કરતું નથી અને પ્રક્રિયા પ્રક્રિયાની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે.