હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડતે રંગહીન ગેસ છે જે તીવ્ર ગંધ ધરાવે છે. તેના જલીય દ્રાવણને હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ કહેવામાં આવે છે, જેને હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે. હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ પાણીમાં ખૂબ જ દ્રાવ્ય છે. 0°C પર, 1 વોલ્યુમ પાણી લગભગ 500 વોલ્યુમ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ ઓગાળી શકે છે.

તેમાં નીચેના ગુણધર્મો અને લાક્ષણિકતાઓ છે:

1. ઉચ્ચ શુદ્ધતા

ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડની શુદ્ધતાહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડસેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં કોઈ અશુદ્ધિઓ દાખલ ન થાય તેની ખાતરી કરવા માટે, સામાન્ય રીતે પીપીએમ અથવા નીચલા સ્તરે ખૂબ ઊંચું હોય છે.

2. જડતા

તે એક રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય ગેસ છે જે અન્ય ઘણા પદાર્થો સાથે પ્રતિક્રિયા આપતો નથી, જે સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી અને સાધનોના દૂષણને રોકવા માટે ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે.

3. ઉચ્ચ સ્થિરતા

ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડવિશ્વસનીય સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા સુનિશ્ચિત કરવા માટે સામાન્ય રીતે સ્થિર રસાયણશાસ્ત્ર હોય છે.

સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગમાં, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડના મુખ્ય ઉપયોગોમાં શામેલ છે:

૧. સપાટીની સફાઈ અને તૈયારી

કાર્યક્ષમ સપાટી ક્લીનર તરીકે, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડએપિટેક્સિયલ સ્તર અથવા ફિલ્મની ગુણવત્તા અને શુદ્ધતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે સબસ્ટ્રેટ સપાટી પરથી ઓક્સાઇડ અને અશુદ્ધિઓ દૂર કરવા માટે વપરાય છે.

2. એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ સહાય

એપિટેક્સિયલ પ્રક્રિયામાં સપાટીના ઉપચાર એજન્ટ તરીકે ઉપયોગમાં લેવાતા, તે એપિટેક્સિયલ સ્તરની ગુણવત્તા સુધારવા, જાળીના મેચિંગને સુધારવા અને જાળીના ખામીઓની રચના ઘટાડવામાં મદદ કરે છે.

3. સબસ્ટ્રેટ પ્રીટ્રીટમેન્ટ

સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો તૈયાર કરતા પહેલા, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડએપિટેક્સિયલ સ્તર અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના સંલગ્નતાને સુધારવા માટે સ્થિર આધાર બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટ સપાટીની સારવાર માટે ઉપયોગ કરી શકાય છે.

4. સહાયક એજન્ટનું નિરાકરણ

રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપન (CVD) અથવા ભૌતિક વરાળ નિક્ષેપન (PVD) ની પ્રક્રિયામાં, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડનો ઉપયોગ સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રીના નિક્ષેપન પ્રતિક્રિયામાં ભાગ લેવા માટે ગેસ ફેઝ ટ્રાન્સફર માધ્યમ તરીકે થઈ શકે છે.

5. ગેસ-ફેઝ ટ્રાન્સફર એજન્ટ

ગેસ-ફેઝ ટ્રાન્સફર એજન્ટ તરીકે, અન્ય વાયુયુક્ત પુરોગામીઓને પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં દાખલ કરવામાં આવે છે જેથી સામગ્રીના નિક્ષેપ દર અને એકરૂપતાને સમાયોજિત કરવામાં મદદ મળે.

આ લાક્ષણિકતાઓ ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ બનાવે છેહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડસેમિકન્ડક્ટર ટેકનોલોજીમાં એક મહત્વપૂર્ણ પ્રોસેસિંગ એજન્ટ, જે અંતિમ ઉપકરણના પ્રદર્શન અને વિશ્વસનીયતા પર મુખ્ય અસર કરે છે.

સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગમાં તેના ઉપયોગ ઉપરાંત, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ અન્ય ક્ષેત્રોમાં વિવિધ ઉપયોગો શોધી શકે છે, જેમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે: ઉચ્ચ શુદ્ધતા સામગ્રીની તૈયારી, ઇંધણ કોષો, સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી વૃદ્ધિ, વરાળ તબક્કો લિથોગ્રાફી, સામગ્રી વિશ્લેષણ, રાસાયણિક સંશોધન.

સામાન્ય રીતે, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડએક બહુમુખી, ઉચ્ચ શુદ્ધતાવાળો ગેસ છે જેનો સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનની બહાર વિશાળ શ્રેણીના ઉપયોગો છે.