હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડતીક્ષ્ણ ગંધ સાથે રંગહીન ગેસ છે. તેના જલીય દ્રાવણને હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ કહેવામાં આવે છે, જેને હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે. હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ પાણીમાં ખૂબ દ્રાવ્ય છે. 0 ° સે પર, 1 વોલ્યુમ પાણી લગભગ 500 વોલ્યુમો હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ ઓગળી શકે છે.

તેમાં નીચેની ગુણધર્મો અને લાક્ષણિકતાઓ છે:

1. ઉચ્ચ શુદ્ધતા

ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડની શુદ્ધતાહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડસેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ પ્રક્રિયામાં કોઈ અશુદ્ધિઓ રજૂ કરવામાં ન આવે તેની ખાતરી કરવા માટે, સામાન્ય રીતે પીપીએમ અથવા નીચલા સ્તરે ખૂબ high ંચી હોય છે.

2. જડતા

તે રાસાયણિક રીતે નિષ્ક્રિય ગેસ છે જે અન્ય ઘણા પદાર્થો સાથે પ્રતિક્રિયા આપતો નથી, જે સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી અને ઉપકરણોના દૂષણને રોકવા માટે ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે.

3. ઉચ્ચ સ્થિરતા

વિદ્યુત -ધોરણહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડવિશ્વસનીય સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે સામાન્ય રીતે સ્થિર રસાયણશાસ્ત્ર હોય છે.

સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગમાં, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડના મુખ્ય કાર્યક્રમોમાં શામેલ છે:

1. સપાટીની સફાઈ અને તૈયારી

કાર્યક્ષમ સપાટી ક્લીનર, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ તરીકેહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડએપિટેક્સિયલ લેયર અથવા ફિલ્મની ગુણવત્તા અને શુદ્ધતાને સુનિશ્ચિત કરવા માટે સબસ્ટ્રેટ સપાટીથી ox ક્સાઇડ અને અશુદ્ધિઓ દૂર કરવા માટે વપરાય છે.

2. એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ સહાય

ઉપકલાની પ્રક્રિયામાં સપાટીના ઉપચાર એજન્ટ તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે, તે ઉપકલાના સ્તરની ગુણવત્તામાં સુધારો કરવા, જાળીના મેળને સુધારવામાં અને જાળીની ખામીની રચનાને ઘટાડવામાં મદદ કરે છે.

3. સબસ્ટ્રેટ પ્રીટ્રેટમેન્ટ

સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણોની તૈયારી પહેલાં, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડએપિટેક્સિયલ લેયર અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના સંલગ્નતાને સુધારવા માટે સ્થિર આધાર બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટ સપાટીની સારવાર માટે ઉપયોગ કરી શકાય છે.

4. જુબાની સહાયક એજન્ટ

રાસાયણિક વરાળ જુબાની (સીવીડી) અથવા શારીરિક બાષ્પ જુબાની (પીવીડી) ની પ્રક્રિયામાં, સેમીકન્ડક્ટર સામગ્રીની જુબાની પ્રતિક્રિયામાં ભાગ લેવા માટે ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડનો ઉપયોગ ગેસ ફેઝ ટ્રાન્સફર માધ્યમ તરીકે કરી શકાય છે.

5. ગેસ-તબક્કા સ્થાનાંતરણ એજન્ટ

ગેસ-ફેઝ ટ્રાન્સફર એજન્ટ તરીકે, અન્ય વાયુયુક્ત પૂર્વગામી સામગ્રીના જુબાની દર અને એકરૂપતાને સમાયોજિત કરવામાં સહાય માટે પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરમાં રજૂ કરવામાં આવે છે.

આ લાક્ષણિકતાઓ ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ બનાવે છેહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડસેમિકન્ડક્ટર તકનીકમાં એક મહત્વપૂર્ણ પ્રોસેસિંગ એજન્ટ, જે અંતિમ ઉપકરણની કામગીરી અને વિશ્વસનીયતા પર મુખ્ય અસર કરે છે.

સેમિકન્ડક્ટર પ્રોસેસિંગમાં તેના ઉપયોગ ઉપરાંત, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડ હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ અન્ય ક્ષેત્રોમાં વિવિધ ઉપયોગો શોધી શકે છે, જેમાં શામેલ છે: ઉચ્ચ શુદ્ધતા સામગ્રીની તૈયારી, બળતણ કોષો, સેમિકન્ડક્ટર મટિરિયલ ગ્રોથ, વરાળ તબક્કા લિથોગ્રાફી, સામગ્રી વિશ્લેષણ, રાસાયણિક સંશોધન.

સામાન્ય રીતે, ઇલેક્ટ્રોનિક ગ્રેડહાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડએક બહુમુખી, ઉચ્ચ શુદ્ધતા ગેસ છે જેમાં સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગની બહાર વિશાળ શ્રેણીની એપ્લિકેશનો છે.