બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડ (બીસીએલ 3)સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગમાં સામાન્ય રીતે ડ્રાય એચિંગ અને રાસાયણિક વરાળ જુબાની (સીવીડી) પ્રક્રિયાઓમાં સામાન્ય રીતે અકાર્બનિક સંયોજનનો ઉપયોગ થાય છે. તે ઓરડાના તાપમાને મજબૂત તીક્ષ્ણ ગંધ સાથે રંગહીન ગેસ છે અને ભેજવાળી હવા પ્રત્યે સંવેદનશીલ છે કારણ કે તે હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ અને બોરિક એસિડ ઉત્પન્ન કરવા માટે હાઇડ્રોલાઇઝ કરે છે.

બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડની અરજી

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં,બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડમુખ્યત્વે એલ્યુમિનિયમના શુષ્ક એચિંગ માટે અને સિલિકોન વેફર પર પી-પ્રકારનાં પ્રદેશો બનાવવા માટે ડોપન્ટ તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે. તેનો ઉપયોગ GAAS, SI, ALN, અને ચોક્કસ વિશિષ્ટ એપ્લિકેશનોમાં બોરોન સ્રોત તરીકે ઇચ કરવા માટે પણ થઈ શકે છે. આ ઉપરાંત, બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડનો ઉપયોગ મેટલ પ્રોસેસિંગ, ગ્લાસ ઉદ્યોગ, રાસાયણિક વિશ્લેષણ અને પ્રયોગશાળા સંશોધનમાં વ્યાપકપણે થાય છે.

બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડની સલામતી

બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડકાટમાળ અને ઝેરી છે અને આંખો અને ત્વચાને ગંભીર નુકસાન પહોંચાડે છે. તે ઝેરી હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ ગેસને મુક્ત કરવા માટે ભેજવાળી હવામાં હાઇડ્રોલાઇઝ કરે છે. તેથી, સંભાળતી વખતે યોગ્ય સલામતીનાં પગલાં લેવાની જરૂર છેબોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડ, રક્ષણાત્મક વસ્ત્રો, ગોગલ્સ અને શ્વસન સુરક્ષા સાધનો પહેરવા અને સારી રીતે વેન્ટિલેટેડ વાતાવરણમાં કાર્યરત સહિત.