બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડ (BCl3)સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદનમાં ડ્રાય એચિંગ અને કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન (CVD) પ્રક્રિયાઓમાં સામાન્ય રીતે ઉપયોગમાં લેવાતું એક અકાર્બનિક સંયોજન છે. તે રંગહીન ગેસ છે જે ઓરડાના તાપમાને તીવ્ર તીખી ગંધ ધરાવે છે અને ભેજવાળી હવા પ્રત્યે સંવેદનશીલ છે કારણ કે તે હાઇડ્રોલિક એસિડ અને બોરિક એસિડ ઉત્પન્ન કરવા માટે હાઇડ્રોલાઇઝ થાય છે.

બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડના ઉપયોગો

સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં,બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડતેનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે એલ્યુમિનિયમના ડ્રાય એચિંગ માટે અને સિલિકોન વેફર પર પી-ટાઇપ પ્રદેશો બનાવવા માટે ડોપન્ટ તરીકે થાય છે. તેનો ઉપયોગ GaAs, Si, AlN જેવા પદાર્થોને કોતરવા માટે અને ચોક્કસ ચોક્કસ એપ્લિકેશનોમાં બોરોન સ્ત્રોત તરીકે પણ થઈ શકે છે. વધુમાં, બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડનો ઉપયોગ મેટલ પ્રોસેસિંગ, ગ્લાસ ઉદ્યોગ, રાસાયણિક વિશ્લેષણ અને પ્રયોગશાળા સંશોધનમાં વ્યાપકપણે થાય છે.

બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડની સલામતી

બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડતે કાટ લાગતું અને ઝેરી છે અને આંખો અને ત્વચાને ગંભીર નુકસાન પહોંચાડી શકે છે. તે ભેજવાળી હવામાં હાઇડ્રોલાઇઝ થાય છે અને ઝેરી હાઇડ્રોજન ક્લોરાઇડ ગેસ મુક્ત કરે છે. તેથી, સંભાળતી વખતે યોગ્ય સલામતીનાં પગલાં લેવાની જરૂર છેબોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડજેમાં રક્ષણાત્મક કપડાં, ગોગલ્સ અને શ્વસન સંરક્ષણ સાધનો પહેરવા અને સારી રીતે હવાની અવરજવરવાળા વાતાવરણમાં કામ કરવાનો સમાવેશ થાય છે.